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薄膜スパッタリングターゲットができるまで

テクノロジーの発展を支える 究极の薄膜材料

わずか数ナノの膜が、最先端デバイスの性能を决める

ハードディスクなどに使われる薄膜は、情报社会を支える重要な技术です。フルヤ金属のスパッタリングターゲットは、原子レベルで均质な薄膜を実现し、データセンターの记録密度向上など、膨大な情报処理を支えています。

たとえば、
データセンターの
ハードディスクに!
フルヤ金属 スパッタリングターゲット 电子機器などの部品にナノレベルの膜をつくる、
金属の“もと”になる素材
お客様 ハードディスクの记録媒体
01

精製スポンジ

高纯度スポンジを自社でつくる

ルテニウムは、鉱山で採れた段阶では不纯物を含んでいます。フルヤ金属では、自社工场でこのルテニウムを高纯度のスポンジ状金属に精製します。

02

混合

原材料は“练り方”で変わる

製品に応じて、ルテニウムにコバルトなど他の金属を加えて配合します。これが「ターゲット」の性能に大きく影响します。?

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スパッタリングとは?

スパッタリングは、薄膜材料をつくるための代表的な技術で、真空中で金属などの材料にイオンを衝突させ、原子や分子をはじき飛ばして基板上に薄く堆積させる方法です。半導体や电子部品の製造に不可欠で、極めて均一で高精度な膜を形成できます。フルヤ金属では、貴金属を用いたスパッタリングターゲットの製造により、最先端技術を支える高機能薄膜材料を提供しています。

03

焼结

溶かさずに固める特殊な焼结法

ルテニウムは非常に溶けにくい金属。そこで、高温?高圧で粉末を一気に固めるSPS焼结法(放電プラズマ焼结)を用いて、ターゲットの形を作ります。

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放電プラズマ焼结機とは??

放電プラズマ焼结機は、金属粉末に電流を流しながら圧力をかけて、短時間で高密度な固体に焼き固める装置です。一般的な焼结法に比べて時間を大幅に抑えられ、不純物の混入も少なく、高純度で強度の高い材料を効率的に製造できます。フルヤ金属では、熱電対やスパッタリングターゲットなどの高機能材料の製造に活用されています。

04

削る?切る?整える

付着している不纯物を除去して、製品の形に整える??

切断工程は、大きな金属素材をお客様の用途に合わせた形や寸法に精密加工する重要なステップです。単なるサイズ调整ではなく、ミクロン単位で平らさや厚みを整えることで、成膜のムラや异物発生を防ぎます。

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フルヤ金属の镜面仕上げ加工?

わずかな凹凸も性能に影响するのが、最先端材料の世界です。フルヤ金属の镜面仕上げ加工は、ナノレベルの平滑性と均一性を実现し、高精度が求められるスパッタリングターゲットや热电対部品などに活用されています。见えないレベルの精度が、製品の信頼性と寿命を大きく左右します。

05

検査?洗浄?梱包?

最后の3工程が品质を决める??

検査では寸法や表面の状态を厳しくチェックし、欠陥や异物の有无を确认します。続く洗浄工程では、微细な粉や油分まで除去し、半导体製造に适したクリーンな状态を确保。最后に异物混入を防ぐ専用包装で密封し、出荷します。

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薄膜ターゲットの品质は“异物ゼロ”が当たり前

当社のスパッタリングターゲットは、高纯度?高密度で组成も均一を保証しています。しかも异物(パーティクル)は“ゼロ”が当たり前です。半导体製造では、ターゲットにアルゴンイオンをぶつけ、飞び出した原子を基板に付着させて薄膜を作ります。もし异物が混ざれば基板に付着し、不良品や歩留まり低下の原因になります。当社はパーティクルを彻底的に抑え、高品质な半导体製造と生产効率の向上に贡献しています。

06

製品

最先端エレクトロニクス製品の製造に欠かせないターゲット材??

スパッタリングターゲットは、半导体やディスプレイ、スマートフォンなどの薄膜形成に不可欠な材料です。当社は高纯度?高密度のターゲットを提供し、最先端エレクトロニクス製品の品质と性能を支えています。

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アルミスカンジウムが変える未来

アルミスカンジウム(础濒-厂肠)ターゲットは、おもに5骋向けの携帯电话などに使用され、5骋の発展を支える重要な要素となっています。今后普及が见込まれる自动运転や、6骋への展开も期待され、当社では础濒-厂肠ターゲットの材料安定供给?量产体制构筑に取り组んでいます。

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薄膜